Линейная пластина нанопозиционирования PLF5252-x.200

пьезоэлектрическая1 оськомпактная

Нанопозиционирующие сканерные каскады SMARFLEX используют преимущества механических изгибов с пьезоприводом для реализации высокоточных задач позиционирования до нескольких 100 мкм. PLF5252-x.200 обеспечивает диапазон сканирования более 200 мкм в направлении X. При весе 90 г он очень легкий и при этом довольно компактный - 52 x 52 x 15 мм. Технические характеристики Диапазон сканирования [мкм] - > 200 Макс. Нормальное усилие [Н] - 5,0 Размеры [мм] - 52 x 52 x 15 Вес [г] - 90 Материал Материал основания - титан (-TI) / алюминиевое основание (-Al) - Открытый контур Разрешение в открытом контуре MCS2 [нм] - MCS2: <1 - Закрытый контур Разрешение датчика MCS2 [нм] - MCS2: 1 (S) - Опции Вакуумные опции - HV (10-⁶mbar) Немагнитная опция - Да (- NM)