Координатный стол с длинным ходом CLL42

линейныйпьезоэлектрический1 ось

CLL42 предлагает большую платформу для установки полезной нагрузки, имеет большой диапазон перемещения и сменные приводные механизмы. CLL42 оснащен сменными приводами SmarActs, что гарантирует легкий доступ к основному компоненту сцены - пьезоприводу. Это делает обслуживание очень простой задачей. Он также доступен в версии с высоким вакуумом. Стандартные версии обеспечивают перемещения на 99, 179, 259, 379, 499 и 619 мм. Механический Усилие блокировки [Н] - ≥ 5 Макс. Нормальное усилие [Н] - 30 Макс. Усилие подъема [Н] - 1,5 Размеры [мм] - 60 x 16 (каретка с открытым контуром) Вес [г] - в зависимости от длины Открытый контур Разрешение открытого контура MCS2 [нм] - < 1 Разрешение открытого контура (H)CU [нм] - 50 Замкнутый контур Разрешение датчика MCS2 [нм] - 1 (S), 4 (L) Однонаправленная повторяемость MCS2 [нм] - ± 100 (S) Опции Варианты материала - несколько кареток; цековки; резьбовые отверстия (M4) Механические опции - несколько кареток; цековки; резьбовые отверстия (M4) Варианты вакуума - HV (1E-6 мбар); UHV (1E-11 мбар)