Компактный координатный стол SL-0630

линейныйнизковакуумныйминиатюрный

Линейные каскады серии SL являются ультракомпактными и специально разработаны для систем с ограниченным пространством или требованиями к экстремальной миниатюризации. Сохраняя миниатюрные размеры, этапы обеспечивают сравнительно большие диапазоны перемещения и могут быть объединены в сложные многоосевые системы. Размеры этапов серии SL составляют 11 мм в ширину и 5,2 мм в высоту. Механические Усилие блокировки [Н]≥ 1,6 Макс. Нормальная сила [Н]1 Макс. Усилие подъема [Н]0,35 Размеры [мм]31 x 11 x 5,2 Открытый контур Разрешение в открытом контуре MCS2 [нм] - < 1 Разрешение в открытом контуре (H)CU [нм] - < 50 Опции Варианты материала - Стальное основание (-ST) в стандартной комплектации Варианты вакуума - HV (1E-6 мбар); UHV (1E-11 мбар)