Термическое испарение (резистивное испарение) – это метод нанесения покрытий, являющийся одним из этапов процесса PVD (процесс физического осаждения из паровой фазы). Материал, который впоследствии образует покрытие, нагревается в вакуумной камере до испарения. Пар, образованный материалом, конденсируется на подложке и образует необходимый слой.
Наши испарительные спирали умеют поднимать температуру: эти резистивные нагреватели с очень высокой температурой плавления могу довести до кипения практически любой металл. В то же время их высокая коррозионная стойкость и высокая чистота предотвращают любые загрязнения подложки.
Наш ассортимент включает в себя испарительные спирали из следующих материалов:
стабилизированный вольфрам (WVM) для испарения алюминия
Тантал
Молибден
молибден-лантан (ML) для чрезвычайно долгого срока службы