Молибденовый сплав

Обзор
Компоненты и запасные части для пучковой линии ионных имплантеров, предназначенные для работы при высоких температурах, с высокой чистотой материалов и стабильностью процесса. Изготавливаются из тугоплавких металлов, технического графита и керамики, по геометриям OEM или оптимизированным стандартам Plansee.

Преимущества

• Десятилетия опыта в производстве компонентов для полупроводниковой промышленности
• Изготовление по спецификациям OEM или по Plansee Advanced Standard (PAS)
• Строгий контроль чистоты материалов и размеров
• Глобальная сеть производства и поставок критичных запасных частей

Свойства продукта

• Высокая термостойкость (до ≈1 400 °C в зависимости от материала)
• Устойчивость к сильным электромагнитным полям и технологическим газам
• Высокая чистота материалов и контроль толщин для минимизации образования частиц
• Точность изготовления на уровне микрон для критических геометрий пучковой линии

Продукты (типичные компоненты и запчасти)

• Камеры (графит, вольфрам, молибден и сплавы)
• Нити накала / нагреватели (вольфрам, вольфрамовые сплавы)
• Лопатки MRS / лезвия и диафрагмы (графит, вольфрам, молибден, сплавы)
• Кронштейны, опоры и катоды (вольфрам, молибден, сплавы)
• Клеммы и детали анализатора (графит)
• Изоляторы и керамические компоненты
• Общие запасные части (графит, тугоплавкие металлы, сплавы, керамика, сталь)

Производство и оптимизация

• Производство по OEM‑чертежам или в оптимизированных PAS‑вариантах с улучшенной геометрией и зонами износа
• Международные производственные площадки (например, Япония, США, Корея, Китай, Индия) для соблюдения сроков и качества
• Прецизионная обработка и строгий контроль качества на всех этапах

Преимущества Plansee Advanced Standard (PAS)

• Упрощённая установка и демонтаж
• Увеличенный срок службы компонентов и снижение времени простоя
• Снижение затрат на очистку и обслуживание
• Оптимизация геометрии и материалов может значительно увеличить ресурс критичных деталей (например, PAS MRS‑лопаток)

Совместимые OEM / поддерживаемые семейства имплантеров (примеры)

• Applied Materials (9000, 9200, 9500, серии Quantum, серии xR)
• Бывшие семейства Varian (VIISta, VIISion, серии XP/HD)
• Axcelis (семейства GSD / NV / Optima)
• Nissin (семейства NH / PR / EXCEED)
• SEN, Ulvac и другие специализированные производители

Материалы и стабильность процесса

• Материалы: молибден, вольфрам, оптимизированные марки графита, техническая керамика и отборные сплавы
• Специальные марки графита уменьшают износ и образование частиц, повышая стабильность процесса
• Конструктивные улучшения (например, оптимизированные углы лопаток) снижают химический и термический износ

Технические характеристики

• Максимальная рабочая температура: до ≈1 400 °C (в зависимости от материала)
• Материалы: Mo, W, графит, керамика, отобранные сплавы и сталь
• Типичные изделия: камеры, нити, лопатки/вэны MRS, кронштейны, катоды, клеммы, детали анализатора, изоляторы, запчасти
• Точность: допуски изготовления на уровне микрон
• Стандарты производства: спецификация OEM или PAS‑оптимизированные детали
• Поддерживаемые системы: совместимые решения для более чем 100 моделей/семейств имплантеров