Микроскоп SEM JIB-4700F

для анализовДОРЭвысокое разрешение

Успехи в разработке новых материалов со сложными наноструктурами предъявляют повышенные требования к приборам FIB-SEM, обеспечивающим исключительное разрешение, точность и производительность. В ответ на это компания JEOL разработала многолучевую систему JIB-4700F для использования в морфологических наблюдениях, элементном и кристаллографическом анализе различных образцов. JIB-4700F оснащен гибридной конической объективной линзой, режимом GENTLEBEAM™ (GB) и системой внутрилинзовых детекторов, обеспечивающих гарантированное разрешение 1,6 нм при низком ускоряющем напряжении 1 кВ. Используя "эмиссионную электронную пушку Шоттки в линзе", которая производит электронный пучок с максимальным током зонда 300 нА, этот недавно разработанный прибор позволяет проводить наблюдения с высоким разрешением и быстрый анализ. Для колонны FIB используется ионный пучок Ga с высокой плотностью потока и максимальным током зондирования до 90 нА для быстрого ионного фрезерования и обработки образцов. Одновременно с высокоскоростной обработкой поперечных сечений с помощью FIB можно проводить высокоразрешающие РЭМ наблюдения и быстрый анализ с использованием энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (EDS) и дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD). Кроме того, в стандартную комплектацию JIB-4700F входит функция трехмерного анализа, позволяющая автоматически получать изображения РЭМ через определенные промежутки времени в процессе обработки поперечного сечения Высокое разрешение РЭМ наблюдения Гарантированное разрешение 1,6 нм при низком ускоряющем напряжении 1 кВ обеспечивается магнитным/электростатическим гибридным коническим объективом, режимом GB и внутрилинзовым детектором.