Микроскоп FIB/SEM JIB-4700F

для анализовнапольныйДОРЭ

Успехи в разработке новых материалов со сложной наноструктурой предъявляют повышенные требования к приборам FIB-SEM в отношении исключительного разрешения, точности и производительности. В ответ компания JEOL разработала многолучевую систему JIB-4700F для использования в морфологических наблюдениях, элементном и кристаллографическом анализе различных образцов. Особенности JIB-4700F оснащен гибридным коническим объективом, режимом GENTLEBEAM™ (GB) и детекторной системой внутри объектива, что обеспечивает гарантированное разрешение 1.6 нм при низком ускоряющем напряжении 1 кВ. Используя «электронную пушку Шоттки в объективе», которая создает электронный пучок с максимальным зондирующим током 300 нА, этот недавно разработанный прибор позволяет проводить наблюдения с высоким разрешением и быстрый анализ. В колонке FIB для измельчения и обработки образцов с помощью быстрых ионов используется пучок ионов Ga с высокой плотностью тока и максимальным током зонда до 90 нА. Параллельно с высокоскоростной обработкой поперечных сечений с помощью FIB можно проводить наблюдения с помощью SEM с высоким разрешением и быстрый анализ с использованием энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (EDS) и дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD). Кроме того, функция трехмерного анализа, которая автоматически захватывает изображения СЭМ через определенные промежутки времени при обработке поперечных сечений, является одной из стандартных функций JIB-4700F. СЭМ-наблюдение с высоким разрешением Гарантированное разрешение 1.6 нм при низком ускоряющем напряжении 1 кВ обеспечивается магнитно-электростатическим гибридным коническим объективом, режимом ГБ и детектором внутри линзы.