Мягкий рентгеновский эмиссионный спектрометр (SXES) - это спектрометр сверхвысокого разрешения, состоящий из недавно разработанной дифракционной решетки и высокочувствительной рентгеновской CCD-камеры.
Так же, как и EDS, возможно параллельное детектирование, и можно проводить анализ с ультравысоким энергетическим разрешением 0,3 эВ (край Ферми, стандарт Al-L), что превосходит энергетическое разрешение WDS.
Общие сведения о системе
Новая конструкция оптической системы спектрометра позволяет одновременно измерять спектры с различными энергиями без перемещения дифракционной решетки или детектора (CCD). Благодаря высокому энергетическому разрешению можно проводить картирование анализа химического состояния.
Сравнение SXES, WDS и EDS
Спектры для нитрида титана с использованием различных методов спектрометрии
Для нитрида титана пики N-Kα и Ti-Ll перекрываются. Даже при использовании WDS требуется деконволюция формы волны с помощью математического метода. Как показано на рисунке ниже, при использовании SXES наблюдается высокое энергетическое разрешение, что позволяет наблюдать TiLl.
Пример анализа литий-ионного аккумулятора (LIB)
В приведенном ниже примере показаны карты большой площади образцов LIB с различными состояниями заряда. SXES может отобразить пик Li-K как в состоянии валентной полосы (слева), так и в основном состоянии (посередине). Карта распределения углерода (справа) также позволяет увидеть функцию на полностью разряженном LIB.
Пример измерения легких элементов
Измерения соединений углерода с помощью SXES
Можно измерить различия между алмазом, графитом и полимерами. Различия можно наблюдать с помощью дополнительных пиков от π- и σ-связи.
---