Один и тот же держатель образца теперь может использоваться как для оптического микроскопа, так и для сканирующего электронного микроскопа. В результате, управляя информацией о стадии с помощью специального программного обеспечения, система может записывать места, наблюдаемые с помощью оптического микроскопа, а затем увеличивать те же области с помощью сканирующего электронного микроскопа для наблюдения тонких структур с большим увеличением и большим разрешением. Объекты наблюдения, найденные с помощью оптического микроскопа, можно легко наблюдать с помощью сканирующего электронного микроскопа без необходимости повторного поиска объекта. Теперь можно легко и просто сравнивать и проверять изображения оптического микроскопа и сканирующего электронного микроскопа.
Сбор данных и интуитивное наблюдение с использованием цвета
Добавление информации о цвете видимого света с изображения оптического микроскопа (которую невозможно получить с помощью изображения СЭМ) позволяет получить изображение СЭМ с более интуитивным визуальным эффектом.
Плавный поиск цели использует возможности оптического микроскопа
Проведение наблюдения с помощью оптического микроскопа позволяет легко находить целевые структуры, которые трудно различимы на изображениях РЭМ.
Предотвращает повреждение образца электронным пучком
Для предотвращения повреждения или загрязнения электронным пучком, поиск интересующей области сначала выполняется с помощью оптического микроскопа. Это позволяет проводить SEM-наблюдения с минимальной дозой облучения места наблюдения.
---