Это оже-электронный спектрометр с высокими техническими характеристиками и полусферическим анализатором для обеспечения высокопроизводительного анализа состояния химической связи в нано- и микрообластях, а также электронная пушка с полевой эмиссией, которая также используется для EPMA, поскольку она может подавать большой стабильный электрический ток. высокоточный эвцентрический столик для образцов позволяет выполнять ранее невозможный анализ изоляторов. Это в сочетании с ионной пушкой плавающего типа обеспечивает универсальность для работы с любыми образцами, такими как металлы и изоляционные материалы, для получения информации о составе и химическом составе.
Особенности
• Анализатор высокой чувствительности・высокого разрешения
Использование анализаторов с переменным энергетическим разрешением позволило проводить анализ состояния химической связи в режиме высокого разрешения, а также высокоскоростное картирование в режиме высокой чувствительности.
• Автоэмиссионная электронная пушка Шоттки
Электронная пушка, которая обеспечивает как наблюдение изображения с пространственным разрешением 3 нм, так и высокопроизводительный анализ состояния химической связи в результате большого электрического тока до 200 нА. Это стало возможным благодаря внедрению технологии электронной оптики, которую компания JEOL разрабатывала в течение многих лет вместе с полевыми электронными пушками Шоттки, используемыми в SEM и EMPA.
• Эуцентрическая стадия образца
Применение эуцентрического предметного столика, необходимого для аналитического устройства с несколькими оптическими системами, обеспечивает высокоточную воспроизводимость центра высоты.