Пьезоэлектрические координатные столы STEINMEYER

Ход: 1 mm - 300 mm
Скорость: 1 mm/s - 10 mm/s
Повторяемость: 0,015 µm - 5 µm

... LA97 Нанометрический линейный каскад Применение: сканирование Преимущество: нанометровое позиционирование, в том числе вертикальное Особенности: позиционирование с экстремальным разрешением и высочайшей жесткостью может быть оснащено ...

Ход: 1 mm - 10 mm
Скорость: 0,2 mm/s - 10 mm/s
Повторяемость: 0,2 µm - 5 µm

... MT53 Микроштатив высокого разрешения Применение: многоцелевой микроштатив Преимущество: для сканирования с высоким разрешением Особенности: позиционирование с очень высоким разрешением - Вакуум: все диапазоны давления HV /UHV до 10E-11 ...

Ход: 1 mm - 50 mm
Скорость: 1 mm/s - 50 mm/s
Повторяемость: 0,3 µm - 5 µm

... KT105-50 Этап XY с высоким разрешением Применение: вакуумный XY-штатив Преимущество: быстрота и высокое разрешение Особенности: параметры рысканья и тангажа в три раза лучше, чем у варианта с апертурой - Вакуум: все области HV / ...

Скорость: 180 mm/s - 270 mm/s
Повторяемость: 0,001 µm - 1 µm
Нагрузка: 3 kg

... Поворотный столик высокого разрешения с апертурой HV / UHV, DUV, чистая комната ISO 6, n x 360°, репрезентативность 0.0005°, нагрузка 3 кг, скорость 270°/с - Чистое помещение: варианты до класса ISO 6 (выше - по запросу) - Вакуум: все ...

Ход: 360 mm - 360 mm
Скорость: 200 mm/s - 300 mm/s

... Поворотный столик высокого разрешения с большой апертурой UHV, DUV / EUV, чистая комната ISO 6, n x 360°, повтор 0.0003°, скорость 300°/с, нагрузка 5 кг - Чистое помещение: варианты до класса ISO 6 (выше - по запросу) - Вакуум: все диапазоны ...

Ход: 10 mm
Скорость: 5 m/s
Повторяемость: 0,2 µm - 0,3 µm

... Опционально с измерительной системой высокого разрешения для повторяемости до 0,005 мкм - Возможность комбинирования с поворотными столами для ротационного применения - Индивидуальная адаптация к условиям установки в ...

Ход: 20 mm - 200 mm
Скорость: 5 mm/s - 10 mm/s
Повторяемость: 0,02 µm - 30 µm

... Точная вертикальLA97-MT85 Применение: Многоцелевой манипулятор Преимущество: для сканирования с высоким разрешением Особенности: Позиционирование с очень высоким разрешением - Вакуум: все диапазоны давления HV / UHV до 10-11 - Магнетизм: ...

Ход: 1 mm - 100 mm
Скорость: 1 mm/s - 100 mm/s
Повторяемость: 0,2 µm - 5 µm

... MT105 Применение: многоцелевой микроштатив Преимущество: для сканирования с высоким разрешением Особенности: позиционирование с очень высоким разрешением - Вакуум: все диапазоны давления HV /UHV до 10E-11 мбар - Смазка: жидкая до 10E-8 ...

Ход: 1 mm - 24 mm
Скорость: 1 mm/s - 5 mm/s
Повторяемость: 0,03 µm - 5 µm

... KDT120-20 Станок XY с высоким разрешением Применение: вакуумный XY-штатив Преимущество: быстрота и высокое разрешение Особенности: параметры рысканья и тангажа в три раза лучше, чем у варианта с диафрагмой - Вакуум: все диапазоны HV ...

Повторяемость: 5 µm
Нагрузка: 1 kg - 3 kg

... малых размерах шага. Гибкая концепция привода Для позиционирования больших нагрузок можно дополнительно оснастить поворотный стол четырьмя пьезомоторами. Поворотный столик также можно легко комбинировать с микростоликом ...