Вакуумное травление является ключевым компонентом новых вариантов травления. Чтобы минимизировать эффект лужи, между трубами сопел установлены всасывающие шланги, которые забирают использованную травильную среду и направляют ее в резервуар модуля. Мощные вакуумные воздуходувки создают постоянный вакуум. В отличие от водоструйных насосов вакуум никогда не разрушается - независимо от того, всасывают ли регулируемые по высоте всасывающие патрубки отработанную травильную среду или пропускают воздух. Результат - абсолютно равномерная скорость травления и меньший расход химии.
Конфигурация сопла
Благодаря оптимизированной конфигурации сопла система SCHMID обеспечивает максимальную гибкость, поскольку она способна адаптироваться к любой конструкции, подлежащей травлению, и усовершенствовать процессы травления. Равномерное распределение давления на форсунках (давление распыления до 4 бар) не только улучшает результат травления, но и увеличивает скорость травления. Как следствие, время процесса
последующего прерывистого травления сокращается.
Оптимизированная транспортная система
Оптимизированное размещение транспортных дисковых роликов в стандартизированном модуле травления представляет собой еще одну новую опцию травления. В дополнение к вакуумному травлению, улучшенная конструкция и размещение транспортных дисковых роликов приводят к улучшенному сливу химического реагента, тем самым значительно снижая эффект лужи.
Травление CuCl2 особо тонких структур с L/S 6
Равномерное дифференциальное травление: удаление меди 40 мкм, StDev 1,6
Увеличение скорости травления до 20 %
---