Установка для обработки 5500 series

Низкозатратное поточное осаждение тонких пленок Система SCHMID APCVD предлагает самую дешевую альтернативу для осаждения диэлектрической пленки. В роликовой системе транспортировки во время процесса нагревается только подложка, что значительно снижает потребность в электроэнергии и охлаждении. Несколько инжекторных головок могут использоваться последовательно в рамках одной системы APCVD. Три уровня ступенчатой энергосберегающей изоляции еще больше снижают расходы на электроэнергию. Поточная система поставляется в двух конфигурациях: с ленточной транспортировкой или с роликовой транспортировкой. Каждый способ транспортировки имеет свои преимущества. Проверенная временем система APCVD от SCHMID включает в себя несколько последовательных головок инжекторов для максимизации пропускной способности, однородности и гибкости процесса при минимизации затрат. ЧМИ мирового класса позволяет клиенту легко контролировать и управлять всеми технологическими параметрами в удобной для пользователя среде сенсорного экрана. Конструкция, учитывающая потребности техобслуживания, позволяет очищать инжекторы химических реагентов и выхлопные трубы, находясь на месте и без значительных перерывов в технологическом процессе. Модульные узлы головок инжекторов паров химикатов позволяют быстро и легко устанавливать и извлекать их из камеры нанесения покрытия. Все детали головки инжектора представляют собой прочные, прецизионно обработанные детали, обеспечивающие точную доставку химикатов даже после длительного использования. Тепловые системы SCHMID прославились стабильностью процесса, и система APCVD продолжает эту традицию. Стабильный, непревзойденный контроль равномерности температуры обеспечивает стабильные результаты процесса. Кроме того, точный контроль выхлопа и потока прекурсоров гарантирует стабильные результаты обработки пленки.