Прибор для контроля с рентгеновским излучением MFM310

для полупроводниковой пластинывысокое разрешение

MFM310 Rigaku MFM310 выполняет высокоточные измерения не возможные оптически или ультразвуковыми методами. Этот изощренный инструмент метрологии рентгеновского снимка делает его практически для того чтобы выполнить измерения высоко-объема на вафлях продукта и одеяла выстраивая в ряд от ультратонких однослойных фильмов к разнослоистым стогам. Конструированный для высокообъемного производства MFM310 конструировано с высокообъемные 200mm и 300mm изготовляя в разуме: измерение толщины высоко-объема XRR и XRF, регуляция вафли низко-загрязнения и управление положения картины основанное на опознавани для измерений вафли продукта, маркировка CE и S2/S8 соответствие для деятельности чистой комнаты продукции полупроводника, соответствие со стандартами автоматизации GEM-300/HSMS и фабрики, потреблением представления машины высоко-надежности и низкой мощности и ценой владения. COLORS™ включающ технологию Оптика рентгеновского снимка COLORS™ была начата Rigaku для MFM310 для того чтобы включить измерения от небольших областей. ЦВЕТА испускают лучи пары модулей разнообразие источники возбуждения XRF с оптикой и оптимизированы для того чтобы обеспечить высокую яркость в небольших пятнах для разнообразие применений тонкого фильма. Со своим собственным делом оптики рентгеновского снимка, хорошо расположено Rigaku начинает и изготовляет источники рентгеновского снимка для потребностей настоящего и будущего рынка. Особенности лучи и распознавание по образцу рентгеновского снимка Микро-пятна Высоко-объем, измерения продукт-вафли Широкий диапазон материалов и применений Высокое разрешение и точность покрывая толщины от Ångstroms к микронам Для вафель 200mm и 300mm Доступный с автоматизацией фабрики 300mm Дизайн основанный на SEMI S2 и SEMI S8