Флуоресцентный спектрометр TXRF 3760

общей рентгеновской флуоресценции в отраженном светедля процессакомпактный

TXRF 3760 Анализ TXRF может калибровать загрязнение во всех сказочных процессах, включая чистку, litho, вытравляет, ashing, фильмы, etc. TXRF 3760 может измерить элементы от Na через u с одно-целью, система рентгеновского снимка 3 лучей и жидкостная свободная от азот система детектора. TXRF 3760 включает систему этапа образца XYθ Rigaku запатентованную, систему транспортировки вафли в-вакуума робототехническую, и новое дружественное программное обеспечение окон. Все из этих вносят вклад в более высокий объем, более высокие точность и точность, и легкую рутинную операцию. Опционное программное обеспечение уборки TXRF позволяет составлять карту распределения загрязняющего елемента над поверхностью вафли определить «горячие точки» которые можно автоматически переизмерить на более высокой точности. Опционная возможность ZEE-TXRF преодолевает историческое исключение края 15 mm первоначальных дизайнов TXRF, позволяющ измерения быть сделанным с нул исключениями края. Особенности Простота в эксплуатации и быстрые результаты анализа Принимает 200 mm и более небольших вафли Компактный дизайн, след ноги Высокомощный источник поворачивать-анода Широкий диапазон аналитических элементов (Na~U) чувствительность Свет-элемента (для Na, Mg, и Al) Применение оголить Si и к субстратам не-Si Измерение импорта координирует от инструментов осмотра дефекта для анализа следования