Флуоресцентный спектрометр TXRF-V310

общей рентгеновской флуоресценции в отраженном светедля процессав твердом состоянии

Анализ TXRF может калибровать загрязнение во всех сказочных процессах, включая чистку, litho, вытравляет, ashing, фильмы, etc. TXRF-V310 может измерить элементы от Na через u с одно-целью, система рентгеновского снимка 3 лучей и жидкостная свободная от азот система детектора. TXRF-V310 включает систему этапа образца XYθ Rigaku запатентованную, систему транспортировки вафли в-вакуума робототехническую, и новое дружественное программное обеспечение окон. Все из этих вносят вклад в более высокий объем, более высокие точность и точность, и легкую рутинную операцию. Интегрированная возможность VPD включает автоматическую подготовку VPD одной вафли пока измерение TXRF сделано на другой вафле для самой высокой чувствительности и высокого объема. VPD-TXRF исключает изменчивость оператора которая может произойти с ICP-MS, и VPD-TXRF можно совершенно контролировать через автоматизацию фабрики. Спасение VPD от выделенных областей, включая зону наклона, доступно. Опционное программное обеспечение уборки TXRF позволяет составлять карту распределения загрязняющего елемента над поверхностью вафли определить «горячие точки» которые можно автоматически переизмерить на более высокой точности. Опционная возможность ZEE-TXRF преодолевает историческое исключение края 15mm первоначальных дизайнов TXRF, позволяющ измерения быть сделанным с нул исключениями края. Опционная возможность BAC-TXRF включает полн-автоматизированные измерения лицевой стороны и задней стороны TXRF вафель 300mm с не-контактируя слегка ударять вафли.