Флуоресцентный спектрометр WDA-3650

дисперсионная рентгенофлуоресцентная спектроскопия по длине волныдля процессаавтоматизированный

WDA-3650 Спектрометр флуоресцирования рентгеновского снимка WDA-3650 для оценки тонкого фильма продолжает историю 30 год Rigaku анализаторов вафли XRF которая отражала историю развития прибора тонкого фильма. Этот самый последний инструмент метрологии XRF способствует значительно к управлению производственным процессом металлопленочных толщины, состава фильма, и концентрации элемента с новыми функциями и дизайном низко-COO (главный операционный директор). Инструмент XRF для вафель 200mm Разносторонний и надежный инструмент для 200 mm и более небольшие вафли, WDA-3650 включают нашу систему этапа образца X-Y-θ товарного знака для главных результатов на трудных измерениях, как ferrodielectric фильмы. Множественные каналы включают одновременное измерение множественных элементов интереса для высокого объема. Разрешение высокой энергии этой длин волны-дисперсивной системы XRF, сравненное к энерги-дисперсивным системам XRF, особенно полезно для того чтобы уменьшить пиковое перекрытие когда пики элемента близко расположены. Главное измерение бора (b) Для применений бора, доступный канал Объявлени-бора обеспечивает 5 раз большую чувствительность чем предыдущие модели. Функция AutoCal и встроенный внутренний stocker вафли, ранее только доступные на инструментах 300mm, включают полн-автоматизированные ежедневные квалификацию инструмента и тарировку интенсивности. Компактный эффективный дизайн WDA-3650 весьма компактно с основным блоком требуя меньше чем 1 m2 ценного космоса чистой комнаты, и никакая потребность для бортового доступа ремонтного службы. Был уменьшен расход энергии больше чем 20% сравненное к предыдущей модели.