Массовый спектрометр AZX400

XRFдисперсионная рентгенофлуоресцентная спектроскопия по длине волныдля НИОКР

Технология Waength-Dispersive (WD) XRF позволяет проводить элементный анализ (анализ состава и толщины пленки) с высоким энергетическим разрешением. Rigaku AZX 400 - это последовательный WDXRF спектрометр, специально разработанный для обработки очень больших и/или тяжелых образцов. Приемник AZX 400 предназначен для анализа образцов диаметром до 400 мм, толщиной 50 мм и массой 30 кг и идеально подходит для анализа распыления мишеней, магнитных дисков или для многослойной метрологии пленки на Si пластинах. AZX 400 - это идеальная система исследований и разработок, обеспечивающая широчайший диапазон аналитической гибкости, охватывающий диапазон элементов от Be до U с размерами пятен до 0,5 мм в диаметре для пространственно разрешенных измерений (однородность). Опциональная видеокамера и система освещения позволяют просматривать конкретные точки измерения для приложений QC или FA. Опциональный автозагрузчик пластин позволяет работать с несколькими пластинами с 300-мм кассеты FOUP или 200-мм открытой кассеты. Особенности Анализ больших образцов до 400 мм (диаметр), 50 мм (толщина), 30 кг (масса) Гибкая система адаптера образца со вставками (изготавливается на заказ) Место измерения Диаметр от 30 мм до 0,5 мм с 5-ступенчатым автоматическим выбором Возможность картирования позволяет проверять однородность изображения Общее назначение: способность анализировать Be to U с высоким разрешением, высокой точностью WDXRF WDXRF Широкий диапазон состава (от ppm до десятков процентов) и толщины (от менее Е до мм) Программное обеспечение предоставляет пользователю руководство по проведению измерений и анализа Доступные сертификаты соответствия SEMI S2 и S8 и маркировка CE Небольшой след: 50% от предыдущей модели