Флуоресцентный спектрометр TXRF-310

общей рентгеновской флуоресценции в отраженном светедля процессаавтоматизированный

Анализ TXRF может калибровать загрязнение во всех сказочных процессах, включая чистку, litho, вытравляет, ashing, фильмы, etc. TXRF-310 может измерить элементы от Na через u с одно-целью, система рентгеновского снимка 3 лучей и жидкостная свободная от азот система детектора. TXRF-310 включает систему этапа образца XYθ Rigaku запатентованную, систему транспортировки вафли в-вакуума робототехническую, и новое дружественное программное обеспечение окон. Все из этих вносят вклад в более высокий объем, более высокие точность и точность, и легкую рутинную операцию. Опционное программное обеспечение уборки TXRF позволяет составлять карту распределения загрязняющего елемента над поверхностью вафли определить «горячие точки» которые можно автоматически переизмерить на более высокой точности. Опционная возможность ZEE-TXRF преодолевает историческое исключение края 15mm первоначальных дизайнов TXRF, позволяющ измерения быть сделанным с нул исключениями края. Опционная возможность BAC-TXRF включает полн-автоматизированные измерения лицевой стороны и задней стороны TXRF вафель 300mm с не-контактируя слегка ударять вафли.