Флуоресцентный спектрометр WaferX 310

дисперсионная рентгенофлуоресцентная спектроскопия по длине волныдля процесса

WaferX 310 Rigaku представляет кульминацию 35 лет опыта во флуоресцентном анализе рентгеновского снимка тонких фильмов на кремниевых пластинах. Специфически превращенный как инструмент метрологии в-процесса, система включает «технологию инструмента моста» — обслуживающ 6", 8", так же, как самое последнее 12" вафли. Одновременные толщина и состав WaferX 310 идеально для измерять BPSG, PSG и фильмы металла. К тому же, тонкий фильм BPSG, многослойный фильм цепи, WSix, фильмы электрода, ferrodielectric тонкие фильмы, FRAM, ДРАХМА следующего поколени, и SiOF стандартные применения для этого инструмента. Анализ для того чтобы поддержать технологию субмикрона Сильно точные анализы для ultralight элементов как b и p в фильме BPSG были улучшены значительно путем использовать трубку рентгеновского снимка наивысшей мощности 4kW с супер тонким окном бериллия окна. Предварительный дизайн Аппаратура использует механизм установки высоты вафли для того чтобы возмещать потерю разницы в толщине вафли и механизме избегания огибания для того чтобы исключить взаимодействие огибания для металлов переходной группы. Интегрированное FOUP (SMIF) доступно, поддерживать C-к-C стандарту. Различные кассеты потребителя можно также нагрузить. Вариант через--стены FOUP (SMIF) доступен.