Что такое TONiC UHV?
TONiC UHV позволяет использовать сверхкомпактную бесконтактную энкодерную систему компании Renishaw для измерений в сверхвысоком вакууме, что позволяет улучшить управление перемещением.
TONiC обеспечивает скорость до 10 м/с и, в сочетании с интерфейсом Ti, разрешение до 1 нм для линейных и угловых приложений. Системы TONiC быстро и просто устанавливаются с большими допусками при настройке и калибровке одним нажатием кнопки. Динамическая обработка сигнала TONiC обеспечивает повышенную стабильность сигнала при ошибке подразбиения, которая обычно составляет <±±30 нм, что позволяет добиться превосходных результатов в управлении движением
Что такое шкала RELM20?
RELM20 - это линейка сплав никеля/железа с шагом 20 мкм, изготовленный из ZeroMet™, сплава с низким коэффициентом расширения
Он сравним со стеклянными шкалами с малым шагом и обеспечивает общую точность (включая наклон и линейность) более ±1 мкм при длине 1,5 м. ZeroMet имеет коэффициент теплового расширения 0,75 ±0,35 мкм/мкм/°C при 20 °C.
Разработчики системы могут выбирать между специально разработанной клейкой лентой, совместимой с UHV, и механическими зажимами в соответствии с требованиями к монтажу. Оба способа монтажа позволяют осуществлять независимое тепловое расширение до уровня подложки.
---