Оптический прибор для контроля CIRCL™

для полупроводниковой пластиныдля электронной промышленностимакродефектов

Кластерный инструмент CIRCL™ состоит из четырех модулей, охватывающих все поверхности пластин и обеспечивающих параллельный сбор данных с высокой производительностью для эффективного управления процессом. Модули, входящие в состав системы CIRCL5 последнего поколения, включают: контроль дефектов передней стороны пластины; контроль дефектов края пластины, профилирование, метрологию и обзор; контроль и обзор дефектов задней стороны пластины; оптический обзор и классификацию дефектов передней стороны. Сбор данных контролируется с помощью DirectedSampling™, инновационного подхода, который использует результаты одного измерения для запуска других типов измерений в рамках кластера. Модульная конфигурация CIRCL5 обеспечивает гибкость при различных потребностях в контроле процессов, экономит общую площадь фабрики, сокращает время ожидания в очереди за пластинами и обеспечивает экономически эффективный путь модернизации для защиты капитальных инвестиций фабрики. Области применения Мониторинг процесса, контроль качества на выходе (OQC), мониторинг инструмента, мониторинг обратной стороны, мониторинг выхода на кромку