Оптический прибор для контроля Puma™

для полупроводниковой пластины с рисунком структурыдля электронной промышленностидефектов

Лазерная сканирующая инспекционная система Puma™ 9980 включает в себя многочисленные улучшения чувствительности и скорости, которые позволяют фиксировать критические дефекты, представляющие интерес (DOI), с производительностью, необходимой для крупносерийного производства 1Xnm усовершенствованной логики и усовершенствованных устройств памяти DRAM и 3D NAND. Являясь частью портфеля передовых инструментов для проверки и анализа дефектов на пластинах, Puma 9980 обеспечивает высочайшую производительность для контроля темпов производства за счет улучшения захвата типов дефектов на усовершенствованных слоях паттернинга. В Puma 9980 реализована функция NanoPoint™, учитывающая особенности конструкции, которая позволяет получать более точные результаты контроля благодаря повышенной чувствительности к дефектам, улучшенному систематическому бинированию помех и повышенной точности определения координат дефектов. Монитор линии, монитор инструмента, квалификация инструмента Обеспечивает высокочувствительный мониторинг отклонений во всех областях матрицы для 2X/1Xnm памяти и логических устройств. Обеспечивает высокопроизводительный мониторинг экскурсий во всех областях матрицы для ≥28 нм памяти и логических устройств. Обеспечивает высокопроизводительный мониторинг экскурсий для ≥32 нм памяти и логических устройств.