Оптический прибор для контроля Puma™ series
для полупроводниковой пластины с рисунком структурыдля электронной промышленностидефектов

оптический прибор для контроля
оптический прибор для контроля
оптический прибор для контроля
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Технология
оптический
Применение
для полупроводниковой пластины с рисунком структуры
Сектор
для электронной промышленности
Другие характеристики
дефектов, высокоскоростной

Описание

Системы контроля дефектов пластин с узором с помощью лазерного сканирования Лазерная сканирующая инспекционная система Puma™ 9980 включает в себя многочисленные улучшения чувствительности и скорости, которые позволяют фиксировать критические дефекты, представляющие интерес (DOI), с производительностью, необходимой для крупносерийного производства 1Xnm усовершенствованной логики и усовершенствованных устройств памяти DRAM и 3D NAND. Являясь частью портфеля передовых инструментов для проверки и анализа дефектов на пластинах, Puma 9980 обеспечивает высочайшую производительность для контроля темпов производства, улучшая захват типов дефектов на усовершенствованных слоях паттернинга. В Puma 9980 реализована функция NanoPoint™, учитывающая особенности конструкции, которая позволяет получать более действенные результаты контроля благодаря повышенной чувствительности к дефектам, улучшенному систематическому бинированию помех и повышенной точности определения координат дефектов. Монитор линии, монитор инструмента, квалификация инструмента

---

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги KLA Corporation
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.