Оптический прибор для контроля Puma™ series

для полупроводниковой пластины с рисунком структурыдля электронной промышленностидефектов

Системы контроля дефектов пластин с узором с помощью лазерного сканирования Лазерная сканирующая инспекционная система Puma™ 9980 включает в себя многочисленные улучшения чувствительности и скорости, которые позволяют фиксировать критические дефекты, представляющие интерес (DOI), с производительностью, необходимой для крупносерийного производства 1Xnm усовершенствованной логики и усовершенствованных устройств памяти DRAM и 3D NAND. Являясь частью портфеля передовых инструментов для проверки и анализа дефектов на пластинах, Puma 9980 обеспечивает высочайшую производительность для контроля темпов производства, улучшая захват типов дефектов на усовершенствованных слоях паттернинга. В Puma 9980 реализована функция NanoPoint™, учитывающая особенности конструкции, которая позволяет получать более действенные результаты контроля благодаря повышенной чувствительности к дефектам, улучшенному систематическому бинированию помех и повышенной точности определения координат дефектов. Монитор линии, монитор инструмента, квалификация инструмента