Высокопроизводительные системы контроля узорчатых пластин широкого диапазона
Системы контроля образцовых пластин серии 8 обнаруживают широкий спектр дефектов с очень высокой производительностью для быстрого выявления и решения проблем производственного процесса. Системы серии 8 обеспечивают экономически эффективный контроль дефектов при производстве микросхем на 150-мм, 200-мм или 300-мм кремниевых, SiC, GaN, стеклянных и других подложках, начиная с начальной разработки продукта и заканчивая серийным производством. В инспекторе последнего поколения 8935 используются новые оптические технологии и методы точного контроля областей DesignWise® и FlexPoint™ для выявления критических дефектов, которые могут стать причиной отказов микросхем. Технология искусственного интеллекта DefectWise® позволяет быстро разделять типы дефектов на линии для более эффективного обнаружения дефектов и их сортировки. Благодаря этим инновациям модель 8935 обеспечивает высокопроизводительный отбор дефектов, связанных с выходом продукции и надежностью, при низком уровне неприятных последствий, помогая производителям микросхем ускорить выпуск своей продукции - надежной и с меньшими затратами. Инспекторы серии 8 поддерживают мониторинг дефектов при изготовлении широкого спектра передовых и устаревших типов устройств, включая логику, память, устройства питания, светодиоды, фотонику, радиочастотные устройства и МЭМС. Системы серии 8 также поддерживают контроль качества при производстве AR/VR-линз и жестких дисков (HDD).
Области применения
Монитор процесса, монитор инструмента, исходящий контроль качества (OQC)
Технология контроля серии 8 также доступна в качестве модуля в кластерном инструменте для контроля дефектов, метрологии и анализа CIRCL, предназначенном для измерения всей поверхности полупроводниковых пластин с лицевой стороны, обратной стороны и края.
---