Оптический прибор для контроля Surfscan®

для поверхностидля полупроводниковой пластины без рисунка структурыпромышленный

Система контроля непаттернированных пластин Surfscan® SP7XP выявляет дефекты и проблемы с качеством поверхности, которые влияют на производительность и надежность передовых устройств логики и памяти. Она поддерживает производство ИС, комплектующих, материалов и подложек путем квалификации и контроля инструментов, процессов и материалов, включая те, которые используются для EUV-литографии. Используя DUV-лазер и оптимизированные режимы контроля, Surfscan SP7XP обеспечивает максимальную чувствительность для исследований и разработок на передовых узлах и производительность для поддержки крупносерийного производства. Дополнительные режимы обнаружения, включая канал фазового контраста (PCC) и нормальное освещение (NI), позволяют выявлять уникальные типы дефектов на голых пластинах, гладких и шероховатых пленках, а также хрупких резистах и литографических стеках. Классификация дефектов на основе изображений (IBC) с использованием революционных алгоритмов машинного обучения позволяет быстрее найти первопричину, а механизм классификации Z7™ поддерживает уникальные приложения для 3D NAND и толстых пленок. Квалификация процессов, квалификация инструментов, мониторинг инструментов, контроль качества исходящих пластин, контроль качества входящих пластин, квалификация резистов и сканеров EUV, отладка процессов Система управления рецептами, обеспечивающая переносимость рецептов между совместимыми системами Surfscan и помогающая оптимизировать управление парком оборудования на заводах. Система контроля поверхности нешаблонных пластин с чувствительностью к ультрафиолетовому излучению и высокой производительностью для производства ИС, подложек и оборудования на узлах проектирования менее 1Xnm. Система контроля поверхности пластин без узора с чувствительностью DUV и высокой пропускной способностью для производства ИС, подложек и оборудования на узлах проектирования 1Xnm.