Оптический прибор для контроля C205

для полупроводниковой пластины с рисунком структурыдля электронной промышленностидефектов

Широкополосная плазменно-оптическая система контроля дефектов C205 позволяет обнаруживать систематические дефекты и выявлять скрытые дефекты надежности при производстве микросхем для рынков автомобилей, IoT, 5G и бытовой электроники. C205 использует настраиваемый широкополосный источник освещения, передовую оптику и малошумящий датчик для обнаружения систематических дефектов, что помогает ускорить определение характеристик и оптимизацию новых процессов, узлов проектирования и устройств в ходе НИОКР. Технология NanoPoint™ фокусирует контроль на областях деталей с высоким риском отказов надежности, предоставляя оперативные данные о дефектах, которые помогают сократить избыточную обработку матриц. На производстве C205 контролирует критические слои, требующие высокой чувствительности, помогая фабрикам избежать появления дефектов, которые влияют на конечное качество чипа. C205 - это расширяемая, конфигурируемая платформа, поддерживающая размеры пластин 200 и 300 мм. Обнаружение дефектов, обнаружение "горячих точек", отладка процесса, инженерный анализ, мониторинг линий, обнаружение технологических окон