Оптический прибор для контроля C30x

для полупроводниковой пластины с рисунком структурыдля электронной промышленностидефектов

Широкополосные плазменно-оптические инспекторы дефектов серии C30x позволяют систематически обнаруживать дефекты и выявлять скрытые дефекты надежности при производстве микросхем для автомобильной промышленности, IoT, 5G, бытовой электроники и промышленности (военной, аэрокосмической, медицинской). Инспекторы C30x используют настраиваемый широкополосный источник освещения, усовершенствованную оптику и малошумящий датчик для обнаружения критических дефектов на различных технологических слоях и типах устройств. Технология NanoPoint™ фокусирует контроль на областях деталей с высоким риском отказов надежности, предоставляя оперативные данные о дефектах, которые помогают сократить недостаточный и избыточный уровень дефектности матрицы. Благодаря обнаружению систематических дефектов инспекторы C30x помогают ускорить определение характеристик и оптимизацию новых процессов, конструктивных узлов и устройств в ходе НИОКР. На производстве высокая чувствительность систем C30x при скорости оптического контроля позволяет осуществлять мониторинг критически важных технологических слоев, помогая заводам избежать появления дефектов, влияющих на конечное качество микросхем. Инспекторы C30x построены на расширяемой, конфигурируемой платформе, поддерживающей размеры пластин 200 мм и 300 мм. Широкополосные плазменные инспекторы C30x включают в себя следующие технологии: Широкополосный источник плазменной подсветки Благодаря источнику света высокой яркости DUV/UV/видимого света инспекторы серии C30x обеспечивают повышенный уровень сигнала до критических дефектов. Перестраиваемые диапазоны длин волн Многочисленные диапазоны длин волн обеспечивают эксплуатационную гибкость, необходимую для достижения оптимального контраста для различных технологических слоев и типов устройств. Несколько пикселей Датчик C30x имеет пиксели небольшого размера, что позволяет обнаруживать мельчайшие критические дефекты, влияющие на выход и надежность устройства. Датчик с высокой скоростью передачи данных