Обширная серия фоторезистов со средней чувствительностью к ультрафиолету для критических и некритических применений с разрешением от 0,30 мкм до >1,0 мкм на различных подложках в большом диапазоне толщины резиста.
Ассортимент продукции
Усовершенствованные резисты i-Line для неотражающих подложек
Семейства резистов, разработанные для критически важного CD (350 нм CD) шаблонирования на отражающих подложках:
Серия OiR 674
Серия GiR 1102
Многоцелевые резисты высокого разрешения i-Line
Серии резистов, предлагающие самые высокие скорости фотопечати для высокопроизводительного, высокоразрешающего (>500 нм CD) и надежного шаблонирования:
Серия GiR 2700
Серия OiR 305
Серия OiR 906
Серия OiR 907
Многоцелевые перекрестные резисты g- и i-Line
Серии резистов, обеспечивающие надежную схемотехнику для g-линий, i-линий и широкополосных (>800 нм CD):
Серия HiPR 6500
Серия HPR 510
Окрашенные резисты для высокоотражающих подложек
Серия резистов, не выцветающих, с высокой оптической плотностью для контроля КД и насечек на высокоотражающих подложках:
OiR 906HD
OiR 305HC
HiPR 6500GH
HiPR 6500HC
резисты i-Line для более толстых пленок
Серия резистов для более толстых пленок толщиной от 3 до 13 мкм:
FHi-560EP
GiR 3114
OiR 305
OiR 908
---