Обширная серия среднечувствительных фоторезистов для критических и некритических применений с разрешением от 0,30 мкм до >1,0 мкм на различных подложках в большом диапазоне толщины резиста.
Краткое описание продукта
- Усовершенствованные резисты i-Line для неотражающих подложек
Семейства резистов, разработанные для критически важного КД (КД 500 нм) и надежного шаблонирования:
- серия OiR 305
- серия OiR 366
- серия OiR 906
- Серия OiR 907
- Многоцелевые перекрестные резисты для g- и i-линий
Серии резистов, обеспечивающие надежное нанесение рисунка для g-линий, i-линий и широкополосных (>800 нм CD):
- серия HiPR 6500
- серия HPR 510
- Окрашенные резисты для высокоотражающих подложек
Серия резистов с высокой оптической плотностью, не вызывающей отбеливания, для контроля КД и насечек на высокоотражающих подложках:
- OiR 906MD
- OiR 906HD
- OiR 305HC
- HiPR 6500GH
- HiPR 6500HC
- Резисты i-Line для более толстых пленок
Серия резистов для нанесения рисунка на толстые пленки толщиной от 3 до 13 мкм:
- FHi-560EP
- GiR 3114
- OiR 305
- OiR 908
---