Растворитель для очистки RER series

для электроники

Обзор
Широкий ассортимент специализированных смесей растворителей, предназначенных для удаления краевого валика фоточувствительного слоя (Edge Bead Removal - EBR), доработки, промывки и предувлажнения. Fujifilm поставляет растворители ультра-высокой чистоты и индивидуальные смеси для соответствия строгим литографическим требованиям по частицам, следовым металлам и органическим загрязнителям.

Линейка продуктов

• Алкоголи и кетоны
  • Метанол
  • Ацетон
  • MEK
  • Этанол
  • IPA
  • MIBC
  • MIBK
  • Циклопентанон
  • Циклогексанон
• Ацетаты, лактон и эфиры
  • PGME
  • PGMEA
  • GBL
  • EL
  • nBA
• Растворители для EUV и индивидуальные смеси
  • EUV-специфические растворители и формулы по запросу (обратитесь к вашему менеджеру по работе с клиентами Fujifilm)

Особенности и преимущества

• Ультра-высокие классы чистоты для снижения дефектов и загрязнений
• Растворители, оптимизированные для EUV, обеспечивающие улучшенный контроль паттернинга и снижение набухания резиста
• Поддержка индивидуальной обработки и составления смесей
• Современные аналитические проверки для обеспечения чистоты и стабильности продукции
• Регионализованное производство и упаковка в США, Европе и Азии
• Варианты упаковки:
  • Стеклянные бутылки 1–4 л
  • NOWPak
  • Бочки: нержавеющая сталь, PFA, HDPE
  • IBC: нержавеющая сталь, PFA, HDPE
  • ISOtainer

Технические характеристики

• Бренд: Fujifilm
• Наименование / серия продукта: NTI Developers
• Предназначение: Edge Bead Removal (EBR), доработка, промывка, предувлажнение в процессах с фоточувствительными материалами
• Доступные химические семейства: алкоголи, кетоны, ацетаты, лактон, эфиры, EUV-специфические растворители
• Представительные химии: Метанол, Ацетон, MEK, Этанол, IPA, MIBC, MIBK, Циклопентанон, Циклогексанон, PGME, PGMEA, GBL, EL, nBA
• Чистота/качество: ультра-высокие классы чистоты; продукция соответствует глобальным стандартам по частицам, следовым металлам и органическим загрязнителям
• Индивидуализация: доступны индивидуальные смеси растворителей и поддержка процессов
• Производство и упаковка: регионализованное производство (США, Европа, Азия); варианты упаковки: стеклянные бутылки (1–4 л), NOWPak, бочки (нержавеющая сталь, PFA, HDPE), IBC (нержавеющая сталь, PFA, HDPE), ISOtainer
• Аналитическое подтверждение: использование передовых аналитических инструментов для проверки чистоты и качества
• Примечание о товарном знаке: NOWPak является товарным знаком или зарегистрированным товарным знаком Entegris, Inc. в Соединенных Штатах и/или в других странах