ОбзорМатериалы для позитивного сухого и иммерсионного сканирования, а также для негативного тонального изображения (NTI). Разработаны для 193 нм облучения с возможностью высокоразрешающей обработки и вариантами для сухих и иммерсионных процессов.
Линейка продуктов- GAR Series: Продукты GAR Series подходят для применений, требующих 193 нм сухой экспозиции.
- FAiRS Series for PTI (positive tone imaging): Продукты FAiRS для иммерсионной экспозиции 193 нм с позитивным тональным изображением.
- FAiRS Series for NTI (negative tone imaging): Продукты FAiRS для иммерсионной экспозиции 193 нм с негативным тональным изображением.
Особенности и преимущества- Высокая пропускная способность
- Высокое разрешение
- Широкие технологические окна
- Низкий уровень дефектов
- Контроль вертикального профиля
Характеристики / Технические данные- Длина волны: 193 нм
- Режимы изображения: позитивный сухой, иммерсионный (PTI), негативный тональный (NTI)
- Серии продуктов: GAR Series (dry), FAiRS Series (PTI и NTI)
- Разработаны для высокоразрешающей обработки с широкими технологическими окнами и низким уровнем дефектов