Материалы для позитивной сухой и иммерсионной визуализации, а также негативной тоновой визуализации (NTI)
Характеристики и преимущества
Широкий спектр систем визуализации высокого разрешения для облучения на длине волны 193 нм, включая позитивную сухую и иммерсионную визуализацию, а также визуализацию негативного тона (NTI)
- Высокая пропускная способность
- Превосходное разрешение
- Широкие технологические окна
- Низкий уровень дефектов
- Вертикальные профили
- Серия GAR
Продукты серии GAR подходят для различных применений, требующих сухого облучения при 193 нм.
- Серия FAiRS для PTI (позитивная тоновая визуализация)
Продукты серии FAiRS подходят для различных задач, требующих иммерсионного экспонирования при 193 нм и получения изображений с позитивным тоном.
- Серия FAiRS для NTI (визуализация негативного тона)
Продукты серии FAiRS подходят для различных применений, требующих иммерсионного облучения при 193 нм и получения изображений с отрицательным тоном.
---