Светочувствительная смола ArF
для полупроводников

Светочувствительная смола - ArF - Fujifilm NDT Systems - для полупроводников
Светочувствительная смола - ArF - Fujifilm NDT Systems - для полупроводников
Светочувствительная смола - ArF - Fujifilm NDT Systems - для полупроводников - изображение - 2
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению

Характеристики

Использование
для полупроводников
Другие характеристики
светочувствительная

Описание

Обзор
Материалы для позитивного сухого и иммерсионного сканирования, а также для негативного тонального изображения (NTI). Разработаны для 193 нм облучения с возможностью высокоразрешающей обработки и вариантами для сухих и иммерсионных процессов.

Линейка продуктов
  • GAR Series: Продукты GAR Series подходят для применений, требующих 193 нм сухой экспозиции.
  • FAiRS Series for PTI (positive tone imaging): Продукты FAiRS для иммерсионной экспозиции 193 нм с позитивным тональным изображением.
  • FAiRS Series for NTI (negative tone imaging): Продукты FAiRS для иммерсионной экспозиции 193 нм с негативным тональным изображением.

Особенности и преимущества
  • Высокая пропускная способность
  • Высокое разрешение
  • Широкие технологические окна
  • Низкий уровень дефектов
  • Контроль вертикального профиля

Характеристики / Технические данные
  • Длина волны: 193 нм
  • Режимы изображения: позитивный сухой, иммерсионный (PTI), негативный тональный (NTI)
  • Серии продуктов: GAR Series (dry), FAiRS Series (PTI и NTI)
  • Разработаны для высокоразрешающей обработки с широкими технологическими окнами и низким уровнем дефектов

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги Fujifilm NDT Systems

Другие изделия Fujifilm NDT Systems

Semiconductor Materials

* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.