Широкий ассортимент проявителей, содержащих ионы металлов (MIC) и не содержащих ионов металлов (MIF), для систем с положительным и отрицательным резистом
FUJIFILM Electronic Materials предлагает готовые к использованию (RTU) и концентрированные позитивные проявители для передовых систем позитивных фоторезистов, подходящие для иммерсионной и поточной проявки.
Линейка продуктов
Позитивные проявители - это проявители на основе TMAH с несколькими уровнями качества, включая сверхвысокую степень чистоты для передовых полупроводниковых применений. Продукты выпускаются с поверхностно-активным веществом или без него, а также могут быть приобретены в виде концентрата для клиентов, имеющих возможность смешивания на месте.
Готовые к использованию продукты
Проявитель без ПАВ (TMAH 2,38 масс. %)
Проявитель с ПАВ (TMAH 2.38wt%)
Концентрированные продукты (требуется разбавление заказчиком)
Концентрат ТМАХ 24,9%
10% ТМАХ с поверхностно-активным веществом*1
*1 Концентрированный ТМАХ и ПАВ, предварительно смешанные для разбавления заказчиком
Особенности и преимущества
Варианты высокой чистоты для передовых полупроводниковых применений
Концентрат и оптовые поставки для крупносерийного производства
EUV-приложения
Варианты упаковки
тоты объемом 1000 л (односторонние или возвратные)
барабаны объемом 200 л (односторонние или возвратные)
Доставка навалом (зависит от местоположения)
бутылки 4 x 4 л
---