Проявитель для фоторезиста OPD 262

Overview FUJIFILM Electronic Materials предлагает комплексный ассортимент проявителей на основе TMAH для положительных и отрицательных фоторезистов. Доступны готовые к использованию (RTU) и концентрированные формулы для иммерсионной и конвейерной (in-line track) обработки в производстве полупроводников.

Product Lineup

• Готовые к применению (RTU)
  • Проявитель без поверхностно‑активного вещества (TMAH 2.38 wt%)
  • Проявитель с поверхностно‑активным веществом (TMAH 2.38 wt%)
• Концентраты
  • Концентрат TMAH 24.9% (требует разведения заказчиком)
  • 10% TMAH с ПАВ (предварительно смешанный концентрат для разведения)
• Примеры моделей
  • OPD 262 — проявитель без ПАВ
  • OPD 4262 — проявитель с ПАВ широкого диапазона совместимости
  • OPD 4280 — проявитель с ПАВ широкого диапазона совместимости
  • WNRD — проявитель для негативных резистов

Features & Benefits

• Несколько классов чистоты, включая варианты ультра‑высокой чистоты для передовых и EUV‑приложений
• Форматы RTU и концентраты для стандартных процессов и разведения на месте
• Совместимость с иммерсионной и конвейерной (in-line track) обработкой
• Варианты с ПАВ и без ПАВ для адаптации к резисту и процессу
• Поставка в больших объемах и в виде концентратов для массового производства

Packaging & Delivery

• 1000 л IBC (одноразовые или возвращаемые)
• 200 л барабаны (одноразовые или возвращаемые)
• Оптовая поставка (в зависимости от региона)
• 4 x 4 л флаконы

Technical Specifications

• Химическая основа: TMAH (тетраметиламмоний гидроксид)
• Типы продуктов: RTU (например, TMAH 2.38 wt%) и концентраты (например, 24.9% TMAH; 10% TMAH с ПАВ)
• Применение: системы положительных и отрицательных резистов; иммерсионная и in-line track обработка; совместимость с EUV
• ПАВ: доступно с ПАВ и без ПАВ
• Классы чистоты: от стандартного до ультра‑высокого
• Варианты поставки: концентрат, опт, барабаны, IBC, малые ёмкости

Ordering & Support

• Доступна индивидуальная упаковка и поддержка по разведению для крупных заказчиков
• Свяжитесь с FUJIFILM Electronic Materials для запросов образцов, технических описаний и регламентной информации