Растворитель для полупроводников Microstrip® series

светочувствительной смолы

Обзор
Растворительсодержащие средства для удаления фоторезиста положительного и отрицательного тонального типа. Линейка средств для удаления фоторезиста FUJIFILM предлагает варианты технологических решений и преимущества по производительности для технологий на основе алюминия и меди. Эти материалы используются для влажного удаления большого объема и толстого напылённого фоторезиста в процессах single wafer и batch.

Линейка продукции

• Удаление фоторезиста положительного и отрицательного типов и удаление остатков после травления.
• На основе DMSO
  • Microstrip™ 3001: универсальный удалитель фоторезиста для массовых операций
  • Microstrip™ 3200: слабо-кислотный, без аминов, с отличной совместимостью с металлами
  • Microstrip™ 6800: подходит для single-wafer оборудования, улучшенная очистка сильно сшитого фоторезиста
  • Microstrip™ 6310: высокопрочный удалитель, совместимый с Cu
  • Microstrip™ 6365: высокопрочный удалитель, широко совместим с различными металлами, включая Al и Cu
• Удалители для негативного фоторезиста
  • Microstrip™ V
• Удалитель для позитивного и негативного фоторезиста
  • Gensolve 470

Особенности и преимущества

• Формулы разработаны с учётом требований производственного процесса и минимизации воздействия на окружающую среду и здоровье, где это возможно.
• Варианты упаковки:
  • 4 x 4L флакона
  • 1 x 20L канистра
  • 200L барабаны (одноразовые и возвратные)
  • 1000L IBC

Характеристики / технические спецификации

• Тип продукта: растворительсодержащие средства для удаления фоторезиста для положительных и отрицательных резистов
• Применение: влажное удаление большого объёма и толстого напылённого фоторезиста; процессы single wafer и batch
• Совместимость с металлами: разработано для технологий на основе алюминия и меди (доступны варианты, совместимые с Al и Cu)
• Химические особенности: формулы на основе DMSO и варианты с мягкой кислотностью без аминов
• Доступные модели: Microstrip™ 3001, Microstrip™ 3200, Microstrip™ 6800, Microstrip™ 6310, Microstrip™ 6365, Microstrip™ V, Gensolve 470
• Упаковка: 4 x 4L, 20L, 200L (одноразовые / возвратные), 1000L IBC
• Проектные преимущества: улучшенная очистка сильно сшитого фоторезиста (отдельные марки), оптимизированная технологическая совместимость для Al и Cu