Серия GKR - это системы фоторезистов KrF с положительным тоном, которые охватывают широкий спектр применений.
- Материалы, не содержащие PFOS/PFAS
- Применение с высоким аспектным отношением
- Превосходная устойчивость к плазменному травлению и ионной имплантации
- Широкие технологические окна
- Низкий уровень дефектов
- Долгосрочная стабильность
- Вертикальные профили
- Широкий охват толщины
---