Семейство TC 2000 обеспечивает точный контроль температуры прекурсоров во время обработки, гарантируя стабильное давление пара
- Фронтальная загрузка
- Предварительно оборудован для автоматического пополнения
- Совместим с большинством стандартных промышленных ампул
- Поддерживает кварцевые контейнеры объемом 1,5 л
- Гибкие конструкции
Краткое описание продукта
- Три температурных диапазона
- Три аппаратные конфигурации
- Автономный
- Удаленная электроника
- Монтаж в стойку
---