Семейство TC2000™ обеспечивает точный контроль температуры прекурсора во время обработки, гарантируя стабильное давление пара.
Линейка продуктов
TC2000™ - регулятор температуры
Три температурных диапазона
Охлаждение/нагрев 15°C-40°C
Нагрев 35°C-70°C
Ультратепло 55°C-90°C
---