Керамическая пластина

из оксида алюминияиз оксида алюминиязащитная

Обзор продукта
Керамические основы и сопла из оксида алюминия (Al2O3) применяются в оборудовании для обработки полупроводников, таком как установки для имплантации и компоненты электронных генераторов. Доступны марки 95%, 99% и 99,7% Al2O3; эти компоненты обеспечивают электрическую изоляцию, повышенную теплопроводность и механическую прочность, требуемые в условиях высоких температур и высоких напряжений.

Ключевые свойства

• Основной химический компонент: Al2O3 (95% / 99% / 99,7%)
• Объемная плотность: 3,6 / 3,89 / 3,96 g/cm3
• Максимальная рабочая температура: 1450°C / 1600°C / 1650°C
• Теплопроводность (20°C): 16 / 30 / 30,4 W/m·K
• Диэлектрическая прочность: 8,3 (210) / 8,7 (220) / 8,7 (220) ac-kV/mm (ac V/mil)
• Объемное сопротивление (100°C): >10^13 / >10^14 / >10^14 ohm·cm
• Прочность на изгиб (20°C): 358 (52) / 550 / 550 MPa
• Прочность на сжатие (20°C): 2068 (300) / 2600 (377) / 2600 (377) MPa
• Трещиностойкость K(Ic): 4–5 / 5,6 / 6 MPa·m1/2

Применение
Используются в качестве изоляционных, экранирующих и изнашивающихся деталей в электронных генераторах, оборудовании для имплантации и других средствах производства полупроводников. Подходят для узлов, подвергающихся высоким температурам, высоким напряжениям или коррозионным процессным атмосферам.

Технические характеристики

• Основной химический компонент: Al2O3 (95% / 99% / 99,7%)
• Объемная плотность (g/cm3): 3,6 / 3,89 / 3,96
• Максимальная рабочая температура: 1450°C / 1600°C / 1650°C
• Водопоглощение (%): 0 / 0 / 0
• Твердость ROHS: ≥85 / ≥89 / ≥89
• Прочность на изгиб (20°C) MPa (psi x 10^3): 358 (52) / 550 / 550
• Прочность на сжатие (20°C) MPa (psi x 10^3): 2068 (300) / 2600 (377) / 2600 (377)
• Трещиностойкость K(Ic) MPa·m1/2: 4–5 / 5,6 / 6
• Коэффициент теплового расширения (25-1000°C) 1×10^-6/°C: 7,6 / 7,9 / 8,2
• Теплопроводность (20°C) W/m·K: 16 / 30 / 30,4
• Стойкость к тепловому удару (°C): 250 / 200 / 200
• Диэлектрическая постоянная (1MHz, 25°C): 9 / 9,7 / 9,7
• Диэлектрическая прочность ac-kV/mm (ac V/mil): 8,3 (210) / 8,7 (220) / 8,7 (220)
• Объемное сопротивление (100°C) ohm·cm: >10^13 / >10^14 / >10^14