Кольцевая керамика

из оксида алюминияиз нитрида боразащитная

Alumina Ceramic Insert Ring Chamber - это специализированный вариант плазмостойких компонентов, использующих уникальные свойства глинозема (Al₂O₃) для работы в экстремальных плазменных средах. Кольцевая камера с керамической вставкой из глинозема обладает высокой теплостойкостью, электроизоляцией и устойчивостью к напылению, выполняя функции защитного барьера и стабилизатора. Она защищает критически важные компоненты (например, электроды, датчики) от ионной бомбардировки и химической эрозии, предотвращает утечку/пробой тока, обеспечивает равномерное распределение плазмы (например, при травлении полупроводников) и противостоит загрязнению реактивными газами (например, Cl₂, F₂). Несмотря на хрупкость и ограниченную стойкость к тепловому удару, композитное армирование или покрытия (например, нитрид бора) расширяют возможности использования в экстремальных областях применения, таких как полупроводниковая и аэрокосмическая промышленность, обеспечивая баланс между стоимостью и производительностью.