Кольцевая керамика

с дискамииз оксида алюминияизоляционная

Фокусировочные кольца из алюмооксидной керамики предназначены для улучшения равномерности травления по краю или периметру пластины. При использовании с электростатическим патроном (e-chuck) пластина опирается на кольцо фокусировки края, удерживаемое электростатическим зарядом. Фокусирующие кольца из алюмокерамики служат важнейшими компонентами оборудования для плазменного травления, в первую очередь в камере травления. Кольца стратегически расположены для оптимизации распределения плазмы и поддержания однородности в процессе травления. Процессы производства полупроводников требуют работы в чистых помещениях, особенно для компонентов, используемых в условиях высоких температур, вакуума и агрессивных газов. Керамические материалы сохраняют высокую стабильность в этих сложных физических и химических средах. Керамическое фокусирующее кольцо - важнейшая деталь для процесса травления полупроводников. Если в качестве материала для камеры травления выбран алюминиевый сплав, он может легко загрязниться металлическими частицами. Поэтому при изготовлении керамических фокусирующих колец в качестве материала камеры для оборудования плазменного травления используется высокочистая (более 99,5%) алюмооксидная керамика. Характеристики керамических фокусирующих колец： -Износостойкость, -Коррозионная стойкость, -Отличные механические свойства, -Электрическая изоляция, -Соответствует стандарту качества полупроводниковой продукции.