Кольцевая керамика

с дискамииз оксида алюминиязащитная

Алюмооксидный диск и керамическое краевое кольцо для переноски полупроводниковых пластин Высокоточные керамические компоненты улучшают управление выходом продукции при обработке полупроводниковых пластин. Керамические компоненты Innovacera обеспечивают точную стабильность размеров, сверхплоскостность и гладкость, а также вакуумную фиксацию пластин во время контроля и обработки. Конфигурации с низким поверхностным контактом минимизируют риск негативного влияния частиц с обратной стороны на геометрию пластин для прецизионных приложений. Керамические кольца от INNOVACERA обладают следующими преимуществами: 1. Устойчивость к износу и истиранию: Глинозем - это прочная техническая керамика с очень хорошей износостойкостью. 2. Высокая точность размеров с допуском на затяжку позволяет добиться идеального прилегания. 3. Химическая инертность, устойчивость к большинству сильных кислот и щелочей. 4. Высокотемпературная способность: выдерживает до 1600°C в окислительной и восстановительной атмосфере. 5. Отличные механические свойства, твердость, прочность на сжатие и изгиб гораздо выше у нержавеющей стали. 6. Электрическая изоляция: Пробой изоляции составляет не менее 20 кВ. 7. Защитная атмосфера или высокий вакуум при высоких температурах для устранения загрязнения или примесей. 8. Стойкость к химической коррозии при высоких температурах, даже при использовании сильной кислоты или щелочи. 9. Низкая стоимость материала в приложениях высокого уровня по сравнению с другими видами технической керамики.