Dual-lens AA-10 — это оборудование для активного выравнивания, разработанное для синхронного сопряжения двух линз. Включает два высокоточных активных монтажных/сопрягающих системы с шестью степенями свободы, температурно-контролируемую платформу и визуальное управление. Конструкция обеспечивает совместимость и стабильность: быстросъёмные приспособления и программная переброска для поддержки нескольких типов машин.
Ключевые функции- Два комплекта высокоточных активных систем сопряжения и монтажа с шестью степенями свободы
- Температурно-контролируемая платформа высокой точности
- Высокоточное визуальное сопровождение с калибровкой верхней и нижней камер
- Точное обратное сообщение о нажатии линзы
- Автоматическая диспенсерная подача и автоматическое УФ-отверждение
- Высокоэффективная система демпфирования вибраций на воздушной подушке
- Быстросъёмные приспособления и программная переключаемость для совместимости машин
Дополнительные опции / характеристики- Кастомизация
- Локализация
- Автоматическая калибровка
Области применения- Фотоника
- Силовые устройства
- Микроволновые RF-устройства
- Сектор новых энергетических транспортных средств
Преимущества / компоненты- Контроль силы сопла в сочетании с вакуумной адсорбцией
- Компоненты верхнего и нижнего визуального позиционирования
- Приспособления для продукции
- Компоненты для нанесения и модули верхнего зрения и УФ-отверждения
- Источник положительного давления: давление ≥ 0,5 МПа; диаметр подключения: 8 мм
- Источник отрицательного давления: степень вакуума ≤ -80 кПа; диаметр подключения: 8 мм (вакуумный насос опционально)
Технические характеристики- Контроль температуры подложки: 20 ~ 80 °C, ±0,5 °C (опция)
- Повторяемая точность позиционирования сопряжённых линейных осей: ±100 нм
- Вес оборудования: ок. 650 кг