Система выравнивания высокой точности PIC&SOA-AA-10

автоматическая

PIC&SOA‑AA‑10 — активная система сопряжения для сборки PIC и SOA, разработанная для стабилизации качества продукции и повышения выхода за счет точного выравнивания и эффективной автоматизации процессов. Система интегрирует два активных крепления с шестью степенями свободы и множество высокоточных функций управления и автоматизации.

Ключевые особенности

• Два активных крепления с шестью степенями свободы для точного выравнивания.
• Контроль температуры подложки: 20–80°C, ±0,5°C.
• Высокоточное визуальное сопровождение и обратная связь по давлению для замкнутого управления выравниванием.
• Автоматическая и точная дозировка с интегрированным УФ‑отверждением.
• Эффективная система демпфирования на воздушной подушке для изоляции внешних вибраций и повышения выхода.
• Высокая совместимость: сменные приспособления и переключение программного обеспечения для быстрой смены моделей и промышленного производства.

Области применения

• Фотоника
• Силовая электроника
• Производство СВЧ/RF‑устройств
• Сектор электротранспорта и новых энергетических транспортных средств

Характеристики / Технические данные

• Контроль температуры подложки: 20~80℃, ±0,5℃
• Повторяемая точность позиционирования сопряжённых линейных осей: ±100 нм
• Масса оборудования: примерно 650 кг
• Источник положительного давления: давление ≥ 0,5 МПа; диаметр соединения: 8 мм
• Источник вакуума: вакуум ≤ -80 кПа; диаметр соединения: 8 мм; вакуумный насос — опция
• Дополнительные возможности: вакуумная адсорбция SOA + электромеханическое зажимание челюстями; автоматическое питание для зАппинг-зонда; приспособление для контроля температуры PIC с воздушным охлаждением и автоматическими зондами PIC; обратная связь по конечному давлению; автоматическая дозировка и автоматическое УФ‑отверждение; система демпфирования на воздушной подушке.