Одноосная система позиционирования 782424:005.26

линейнаяротационнаядля контроля полупроводниковых пластин и метрологии

Система позиционирования X Phi для контроля пластин, биологических образцов (чистое помещение ISO 5)| поворотная ось и линейная ступень - Контроль и микроскопия Высокоточное линейно-вращательное позиционирование Эта система X Phi позволяет позиционировать образцы (например, пластины, биологические образцы) под точно определенным углом к датчику или камере. Она состоит из линейной оси X, точного стандартного линейного каскада PMT160 с шарико-винтовой парой и встроенного поворотного блока с неограниченным ходом, приводимого в движение плоскими ремнями. Для обеспечения пригодности к использованию в чистых помещениях кабельные направляющие для центрированной измерительной системы и подвижного поворотного блока были размещены в корпусе линейной системы. Для предотвращения выброса твердых частиц система была закрыта снаружи сильфоном. Необслуживаемая система позиционирования для чистых помещений - Идеально подходит для задач контроля в полупроводниковой технологии, биотехнологии и фармацевтической промышленности - Высокая точность измерений с повторяемостью до 0,3 мкм - Отличная плоскостность линейного стола позволяет проводить высокоточное измерение толщины покрытия с помощью только одного датчика - Снижение эмиссии частиц до класса 5 по ISO благодаря корпусу и сильфону - Необслуживаемая, промышленная непрерывная работа и простая замена системы на опорной плите Возможность расширения: - Дополнительные версии для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опорная плита из гранита или алюминия - Герметичные специальные двигатели с фармацевтическим допуском - Варианты исполнения для экстремальных условий окружающей среды, например, радиация, вакуум - Возможность расширения до полного применения в соответствии с требованиями заказчика - Немедленное использование с предварительно сконфигурированным контроллером и образцовым программным обеспечением