Система позиционирования XYZ 782300:265.26

линейнаядля контроля полупроводниковых пластин и метрологиидля полупроводниковой промышленности

Высокостабильные бесконтактные оптические измерения. Эта XY-комбинация имеет отдельный Z-вертикальный блок для установки пользовательского микроскопа, камеры или датчика. Кросс-степпер KT310 с шаговым двигателем на гранитной плите перемещает проверяемую пластину к микроскопу с высокой точностью и обеспечивает стабильную визуализацию с высоким разрешением. Его концепция с внутренними двигателями, поперечными роликовыми направляющими и высокоточными шариковинтовыми парами обеспечивает исключительную точность при оптимальном использовании монтажного пространства Высокоточный анализ мельчайших деталей - Идеально подходит для оптического контроля пластин, печатных плат и зондовых карт - Легко адаптируется к различным пользовательским микроскопам, камерам или сенсорам - Высокоточный контроль поверхности пластин размером до 200 x 200 мм - Низкая стоимость обслуживания и оптимизированное соотношение цена/качество благодаря шаговому двигателю Дополнительные расширения: - Другие ходы и длины - С/без рамы и опорной плиты из гранита или алюминия - Исполнение ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу), например, с корпусом и с вытяжной системой - Индивидуальные решения для прокладки кабелей - Адаптированное гашение вибрации с помощью демпфирующего резинового слоя или пневматических демпферов - Интеграция в общее применение по желанию заказчика