Координатный стол для высокой нагрузки HT240 series

вертикальныймеханизированныйвысокой точности

- Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 мбар - Смазочная жидкость до 10E-8 / сухой до 10E-11 мбар - Макс. Температура выпечки: 120°C - Поставляется в магнитном исполнении - Класс чистого помещения 4 согласно ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) Опционально конфигурируется: - Выбор материала и вакуумная смазка в зависимости от применения - Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере - Опционально с контроллером FMC400/450 Точная подъемная ступень для высоких нагрузок до 40 кг Подъемная ступень подходит для высокоточных вертикальных перемещений в экстремальных условиях, например, в высоком и сверхвысоком вакууме. Благодаря принципу подъемного клина, он достигает своих параметров, несмотря на небольшую общую высоту 90 мм. Комбинация шагового двигателя и точного шарико-винтовой пары, опционально ведущего винта, обеспечивает минимальный размер шага при сравнительно высоких нагрузках. Области применения Прецизионное позиционирование в промышленности и научных исследованиях в сверхвысоком вакууме и при экстремальном ультрафиолетовом излучении, выравнивание пластин, контроль пластин, выравнивание камер, исследование материалов, анализ материалов, контроль, микроскопия в вакууме, пучковая линия, ускоритель, синхротрон