- Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 мбар
- Смазочная жидкость до 10E-8 / сухой до 10E-11 мбар
- Макс. Температура выпечки: 120°C
- Поставляется в магнитном исполнении
Опционально конфигурируется:
- Выбор материала и вакуумная смазка в зависимости от применения
- Индивидуальная адаптация к ситуации установки в камере
- Версия для чистого помещения ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу)
- Опционально с контроллером FMC400/450
Используется в качестве мощного компонента для многоосевых систем, а также для сканирования нескольких образцов одновременно. Он обеспечивает очень точное позиционирование с высокими нагрузками в сверхвысоком вакууме, даже в вертикальном направлении.
Области применения
Настройка многоосевых систем, автоматизация процессов, 3D сканирование, сканирование образцов, позиционирование систем визуализации, микроскопия, анализ образцов, контроль полупроводников, обеспечение качества в биотехнологии и полупроводниковой технологии, исследования, пучковая линия, ускоритель, синхротрон
---