Низковакуумный координатный стол LA170 series
XYZмеханизированныймногоосный

низковакуумный координатный стол
низковакуумный координатный стол
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Направление
XYZ
Тип
механизированный
Количество осей
многоосный
Другие характеристики
высокой точности, низковакуумный, для микроскопов, для высокой нагрузки, со встраиваемым шаговым двигателем, с контроллером, для погрузки/разгрузки полупроводниковых пластин, с перекрестными роликами
Ход

60 mm, 130 mm
(2,362 in, 5,118 in)

Скорость

5 mm/s

Повторяемость

МАКС.: 4 µm

МИН.: 0,5 µm

Описание

- Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10E-11 мбар - Смазочная жидкость до 10E-8 / сухой до 10E-11 мбар - Макс. Температура выпечки: 120°C - Поставляется в магнитном исполнении Опционально конфигурируется: - Выбор материала и вакуумная смазка в зависимости от применения - Индивидуальная адаптация к ситуации установки в камере - Версия для чистого помещения ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Опционально с контроллером FMC400/450 Используется в качестве мощного компонента для многоосевых систем, а также для сканирования нескольких образцов одновременно. Он обеспечивает очень точное позиционирование с высокими нагрузками в сверхвысоком вакууме, даже в вертикальном направлении. Области применения Настройка многоосевых систем, автоматизация процессов, 3D сканирование, сканирование образцов, позиционирование систем визуализации, микроскопия, анализ образцов, контроль полупроводников, обеспечение качества в биотехнологии и полупроводниковой технологии, исследования, пучковая линия, ускоритель, синхротрон

---

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги Steinmeyer Mechatronik GmbH

Другие изделия Steinmeyer Mechatronik GmbH

Vacuum linear stages, lifting stages

* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.