Система позиционирования 6 осей 786015:009.26

многоосеваяшестиногаягоризонтальная

6-осевая миниатюрная система позиционирования XYZ-Theta-Phi-Delta (чистая комната ISO 5) Настраиваемая: - Идеально подходит для автоматизированного контроля пластин и оптики размером до 300 мм / 12" - Высокая повторяемость ± 2,5 мкм или ± 0,005° - Выдающаяся точность, жесткость и компактность при размерах 520 x 600 x 155 мм - Предназначен для работы в 3 смены в чистых помещениях класса ISO 5 6-осевой манипулятор включает в себя XY Stage для горизонтальной оси и штатив для вертикальных перемещений и двух наклонов, что позволяет объединить в одной системе сильные стороны картезианской и параллельной кинематических схем. Технические характеристики: - Стандартная система: MT95 (XY) / 3x MT95 (Z, Rx, Ry) - Перемещение: 30 мм (XY) / 20 мм (Z) / 4 мм (Rx, Ry) / n x 360 (Rz) - Повторяемость: ± 1,5 - ± 3,5 мкм (XYZ) / 0,0004 - 0,001 мкм (Rx, Ry) / 0,05 - 0,1 мкм (Rz) - Скорость позиционирования: 1,1 - 2 мм/с (XYZ) / 0,03 -0,5 мм/с (Rx, Ry) / 100 - 200 мм/с (Rz) - Макс. нагрузка: 65 Н (X, Y, Rx, Ry) / 100 Н (Z) / 20 Н (Rz) - Двигатель: DC-Motor, Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen (X,Y, Rx, Ry) / Schrittmotor, Riemen (Rz) - Обратная связь: Мотор-энкодер - Длина х ширина х высота: 520 х 600 х 155 мм Индивидуальные опции: - Протестированный и готовый к немедленному использованию контроллер движения с функцией plug-and-play, включая программное обеспечение для образцов - Специальная версия для образцов размером до 450 мм / 18" - Различные версии для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Модульная многоосевая система с настраиваемыми / сменными технологическими головками - Различные держатели образцов, интеграция в рабочие процессы - Индивидуальная разработка решений с 3D-проектированием для задачи позиционирования