Система позиционирования 5 осей 782497:006.26

шестиногаяротационнаядля полупроводниковой промышленности

MP200-5 Миниатюрная система позиционирования XYZ Phi Delta Настраиваемая: - сверхвысокое разрешение до 0,007 мкм - максимальная точность позиционирования ± 1,5° в Rx и Ry - грузоподъемность до 20 Н - тончайшие перемещения до 0,07 мкм благодаря надежным, самоподдерживающимся приводам со скользящей резьбой - высочайшая устойчивость к помехам благодаря прочным подшипниковым соединениям - абсолютно постоянная повторяемость до ± 0,5 мкм по всем степеням свободы - очень компактный благодаря встроенной электронике управления по 5 осям - простой источник питания и стандартный интерфейс передачи данных обеспечивают подключение к системе координат Моторизованная центрирующая и нивелирующая ступень перемещается по пяти степеням свободы очень стабильно. Система может перемещаться во всех трех направлениях. Кроме того, ее можно наклонять на два угла в плоскости. Технические характеристики: - Стандартный компонент: MT63-SM - Перемещение: 4 мм (XYZ) / 3 мм (RxRy) - Повторяемость: ± 0,07 - ± 1 мкм (XYZ) / ± 0,00005 - ± 0,00020 мкм (RxRy) - Скорость позиционирования: 0,5 мм/с (XY) / 0,4 мм/с (RxRy) - Макс. нагрузка: 20 N - Двигатель: Шаговый двигатель (SM), скользящий ремень - Обратная связь: Мотор-энкодер - Передаваемый свет: 45 мм