Система позиционирования 3 оси 782476:001.26
горизонтальнаяротационнаяавтоматическая

Система позиционирования 3 оси - 782476:001.26 - Steinmeyer Holding GmbH - горизонтальная / ротационная / автоматическая
Система позиционирования 3 оси - 782476:001.26 - Steinmeyer Holding GmbH - горизонтальная / ротационная / автоматическая
Система позиционирования 3 оси - 782476:001.26 - Steinmeyer Holding GmbH - горизонтальная / ротационная / автоматическая - изображение - 2
Система позиционирования 3 оси - 782476:001.26 - Steinmeyer Holding GmbH - горизонтальная / ротационная / автоматическая - изображение - 3
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Количество осей
3 оси
Конструкция
автоматическая, ротационная, горизонтальная
Место применения
для контроля полупроводниковых пластин и метрологии, для полупроводниковой промышленности, для фармацевтической промышленности
Другие характеристики
компактная, с шариковым винтом, сверхточная, с шаговым двигателем, под высоким вакуумом
Повторяемость

0,8 µm, 1 µm

Нагрузка

5 kg
(11,02 lb)

Ход

5 mm, 15 mm
(0,2 in, 0,59 in)

Скорость

2 mm/s

Описание

MP410-3 Высоковакуумный выравниватель до 10E-6 мбар Настраиваемый: - Идеально подходит для измерений переноса в вакууме до 10-6 мбар - Предназначен для больших образцов с апертурой 235 мм - Высокая повторяемость до 1 мкм при грузоподъемности 5 кг - Идеальная передача усилия благодаря использованию безлюфтовой шарико-винтовой пары 1214 - Оптимизированное соотношение цена/производительность с точными рабочими параметрами С помощью этого выравнивателя можно реализовать секундные поступательные движения на 15 мм в плоскости и поворот вокруг вертикали до ± 5 градусов. Перемещение R (Phi) является результатом комбинации XY. Технические характеристики: - Стандартный компонент: LA85 (XYRz) - Перемещение: ± 15 мм (XY) / ± 5 мм (Z) - Повторяемость: ± 1,6 - ± 2,1 мкм (XY) / ± 0,001 - ± 0,002 мкм (Rz) - Скорость позиционирования: 30 - 60 мм/с (XY) / 15 - 30 мм/с (Rz) - Макс. нагрузка: 250 Н (XYRz) - Двигатель: Schrittmotor, Kugelgewindetrieb - Обратная связь: Открытый контур Индивидуальные опции: - Адаптация к процессу: диафрагма, держатель, питатель, датчик - Конфигурация для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Индивидуальный дизайн со стойкой, виброизоляцией, корпусом - Разработка индивидуального решения с 3D-проектированием для задачи позиционирования

---

Каталоги

Для этого товара не доступен ни один каталог.

Посмотреть все каталоги Steinmeyer Holding GmbH

Другие изделия Steinmeyer Holding GmbH

Compact Multi Axis Stages: Translation Stages, Aligner, Tripods, Hexapod Alternative

* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.