MP410-3 Высоковакуумный выравниватель до 10E-6 мбар
Настраиваемый:
- Идеально подходит для измерений переноса в вакууме до 10-6 мбар
- Предназначен для больших образцов с апертурой 235 мм
- Высокая повторяемость до 1 мкм при грузоподъемности 5 кг
- Идеальная передача усилия благодаря использованию безлюфтовой шарико-винтовой пары 1214
- Оптимизированное соотношение цена/производительность с точными рабочими параметрами
С помощью этого выравнивателя можно реализовать секундные поступательные движения на 15 мм в плоскости и поворот вокруг вертикали до ± 5 градусов. Перемещение R (Phi) является результатом комбинации XY.
Технические характеристики:
- Стандартный компонент: LA85 (XYRz)
- Перемещение: ± 15 мм (XY) / ± 5 мм (Z)
- Повторяемость: ± 1,6 - ± 2,1 мкм (XY) / ± 0,001 - ± 0,002 мкм (Rz)
- Скорость позиционирования: 30 - 60 мм/с (XY) / 15 - 30 мм/с (Rz)
- Макс. нагрузка: 250 Н (XYRz)
- Двигатель: Schrittmotor, Kugelgewindetrieb
- Обратная связь: Открытый контур
Индивидуальные опции:
- Адаптация к процессу: диафрагма, держатель, питатель, датчик
- Конфигурация для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу)
- Индивидуальный дизайн со стойкой, виброизоляцией, корпусом
- Разработка индивидуального решения с 3D-проектированием для задачи позиционирования
---