Многоосная система позиционирования 782300:056.26

2-3 осиавтоматическаядля полупроводниковой промышленности

MP53-2-1 Миниатюрная система позиционирования XY-Phi Система Phi-XY с пьезодвигателем Небольшой манипулятор для перемещения и вращения по оси xy. Линейное перемещение 10 мм и ± 5 градусов при вращении. Чрезвычайно высокое разрешение в диапазоне на нм благодаря пьезоприводам. Вращение осуществляется с помощью линейной ступени, воздействующей на вращающийся подшипник посредством гибкой связи. Фиксированное соединение для выравнивания деталей Трехосевая система предназначена для выравнивания деталей и образцов. Поскольку для таких корректирующих движений достаточно небольших перемещений в несколько миллиметров или градусов, вращательное движение может быть создано линейным каскадом, если он передает свое движение на пассивный поворотный каскад с помощью полупроводникового соединения. Преимущество такого полупроводникового соединения заключается в том, что оно полностью передает точность линейного этапа вращательному этапу. Если отклонение не превышает 5 градусов, жесткость такого соединения также остается достаточной для передачи движений в нанометровом диапазоне в направлениях растяжения и сжатия. Технические характеристики: - Стандартная система: MT53-PM (XYRz) - Ход: 10 мм - Повторяемость: ± 0,4 - ± 0,7 мкм (XY) / ± 0,001 - ± 0,002 мкм (Rz) - Скорость позиционирования: 5 - 10 мм/с (XY) / 5 - 20 мм/с (Rz) - Макс. нагрузка: 5 N - Двигатель: Пьезодвигатель, подшипники поперечных роликов - Обратная связь: Линейная шкала - Длина х Ширина х Вес: 121 х 85 х 76 мм