Система позиционирования 3 оси 782459:003.26

автоматическаядля контроля полупроводниковых пластин и метрологиидля полупроводниковой промышленности

MP700-3 Плоский 3D-выравниватель Настраиваемый: - Идеально подходит для высокоточного выравнивания больших подложек, масок, рамок - Подходит для больших образцов с апертурой 730 x 730 мм - Высокая повторяемость до 0,4 мкм / ± 0,0002° при нагрузке до 28 кг - Сверхплоская конструкция 990 x 1090 x 225 мм - Не требует обслуживания и не содержит частиц благодаря воздушному подшипнику и прямому приводу С помощью этого выравнивателя можно реализовать второе поступательное движение ± 5 мм в плоскости и вращение вокруг вертикали ± 3°. Движение R (Phi) является результатом совмещения осей XY. Технические характеристики: - Перемещение: ± 5 мм (XY) / ± 3 мм (Rz) - Повторяемость: ± 0,4 - ± 0,7 мкм (XY) / ± 0,0002 - ± 0,0003 мкм (Rz) - Скорость позиционирования: 50 - 100 мм/с (XY) / 10 - 20 мм/с (Rz) - Макс. нагрузка: 5 Н (XY) / 100 Н (Rz) - Апертура: 730 x 730 мм - Двигатель: Безжелезный динамический линейный двигатель (XYRz) - Направляющая: Воздушный подшипник (XYRz) - Обратная связь: Линейный энкодер (XYRz) - Länge x Breite x Höhe: 990 x 1090 x 225 мм - Материал: Анодированный алюминий Индивидуальные опции: - Адаптация к процессу: диафрагма, держатель, питатель, расширение Z-Motion - Конфигурация для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Индивидуальный дизайн со стойкой, виброизоляцией, корпусом - Разработка индивидуального решения с 3D-проектированием для задачи позиционирования