Система позиционирования XYZ 782327:001.26

трехосеваялинейнаядля контроля полупроводниковых пластин и метрологии

MP210-3 Система позиционирования XYZ Настраиваемая: - Идеально подходит для ограниченного монтажного пространства и колебаний температуры от 0 до 40°C - Диапазон перемещения до 25 мм при минимальном пространстве - Абсолютная стабильность положения даже при выключенном двигателе - Неизменные результаты измерений благодаря высокой повторяемости Эта система XYZ позволяет позиционировать держатель образца для высокостабильных двусторонних измерений в падающем и проходящем свете. Загрузка и фокусировка осуществляются вертикальным перемещением с ходом 25 мм. Технические характеристики: - Стандартная система: MT63 (XYZ) - Ход: 25 мм - Повторяемость: ± 0,8 - ± 3,8 мкм (XYZ) - Скорость позиционирования: 1,8 - 3,6 мм/с (XYZ) - Макс. нагрузка: 10 N - Двигатель: Двигатель постоянного тока, - Поводковый винт - Обратная связь: Линейная шкала - Длина х ширина х высота: 206 х 259 х 137 мм Индивидуальные опции: - Адаптация к процессу: пробоотборник, держатель, питатель, датчик - Конфигурация для чистого помещения ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) - Индивидуальный дизайн со стойкой, виброизоляцией, корпусом - Индивидуальная разработка решения с 3D-проектированием для задачи позиционирования