MP53-3 Миниатюрная система позиционирования XYZ
Настраиваемая:
- Идеально подходит для компактных приложений
- Разрешение в субмикрометровом диапазоне
- Нагрузочная способность до 5 Н
- Надежное и стабильное качество благодаря высокоточному позиционированию
Система позиционирования MP53 представляет собой миниатюрную 3-осевую систему для перемещений по осям X, Y и Z с диапазоном перемещения 10 мм. Выравниватель оснащен пьезодвигателями и обеспечивает приращение позиционирования до нескольких нанометров.
Технические характеристики:
- Стандартная система: MT53
- Перемещение: 10 мм (XYZ)
- Повторяемость: ± 0,2 - ± 0,3 мкм (XYZ)
- Скорость позиционирования: 5 мм/с (XYZ)
- Макс. нагрузка: 45 Н (XY) / 150 Н (Z)
- Двигатель: Пьезомотор, роликовые подшипники -
- Обратная связь: Линейная шкала
Индивидуальные опции:
- Опционально с измерительной системой высокого разрешения для точности повторения до 0,005 мкм
- Возможность комбинирования с поворотными ступенями для вращательных применений
- Варианты для вакуума до 10-11 мбар или чистого помещения ISO 14644-1 класс 6 (до класса 1 по запросу)
- Поставляется в магнитном, слабомагнитном и безмагнитном исполнении
- Готовый к использованию контроллер движения с предварительной конфигурацией, включая программное обеспечение для образцов
---