Многоосная система позиционирования 782497:008.26

шестиногаяротационнаядля контроля полупроводниковых пластин и метрологии

MP200-3 Миниатюрная система позиционирования Z-Phi Delta, штатив В качестве дополнения к выравнивателю MP200-5, который позволяет регулировать положение по пяти степеням свободы, был разработан этот выравниватель с тремя степенями свободы. Внутри он состоит из трех вертикально действующих прецизионных осей, которые соединены с подвижной нагрузочной плитой с помощью прочных шарниров. Таким образом, нагрузочная плита может наклоняться по двум осям, а также регулироваться по высоте. Поскольку выравнивание заготовок часто бывает достаточным, вертикальная регулировка может использоваться для компенсации пакетов линз разной высоты, особенно при сборке оптики. Кроме того, на базе этого манипулятора и стола с перекрестной передачей света или кросс-стола можно реализовать 5-осевой манипулятор с большим диапазоном перемещения по XY. Например, в качестве XY-систем можно использовать KDT310, KT310 или KDT235. Технические характеристики: - Стандартный компонент: MT63-SM (Z, Rx, Ry) - Перемещение: 4 мм (Z) / 3 мм (Rx, Ry) - Повторяемость: ± 0,07 - ± 1 мкм (Z) / ± 0,00005 - ± 0,00020 мкм (Rx, Ry) - Скорость позиционирования: 0,5 мм/с (Z) / 0,4 мм/с с (Rx, Ry) - Макс. нагрузка: 20 N - Двигатель: Шаговый двигатель (SM), скользящий ремень - Обратная связь: Мотор-энкодер - Передаваемый свет: 45 мм